FLUORO福樂 非接觸式晶圓傳輸卡盤 BC-K12-300
特點:
主體有20度、45度、90度三種手柄角度可選,平放的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。(使用角度是固定的,不更換主體就無法改變。)
導向擋塊具有平緩的錐度,因此它會在一點與晶圓的邊緣接觸。
導向環由防靜電聚碳酸酯制成,可以目視確認定位和吸附狀態。
主體采用導電尼龍樹脂制成,以減輕重量。
其兩面均印刷有圖案,可以處理難以處理的50μm薄晶圓。